高温环境下适用的4个类别的高温振动传感器

在高温环境下，选择合适的振动传感器需要考虑多个因素，包括传感器的工作温度范围、材料的耐高温性能、结构设计的优化以及降低热噪声的措施。根据提供的信息，以下是一些适合高温环境的振动传感器类型及其特点：

‌新型高温振动传感器‌：一款专门为高温测试环境设计的产品，工作温度可达500C，采用特殊耐高温压电材料和金属壳体，具有超低灵敏度温度系数和低温漂特性，以及方便的三角结构和差分结构设计‌。

‌MEMS陀螺仪‌：MEMS陀螺仪因其小巧、低功耗和低成本的特点，在高温环境下具有一定的应用潜力。然而，目前尚不能满足在175C高温条件下运行的需求‌。

‌多晶硅高温压力传感器‌：这类传感器一般可用于200C以内的环境。它们采用多晶硅作为材料，通过特定的制备工艺实现电隔离，但存在热应力和高温漏电流增大的问题‌。

‌SOI高温压力传感器‌：SOI高温压力传感器具有耐高温特性，通过埋氧层隔绝压敏电阻和硅衬底，避免了P-N结漏电问题。与多晶硅高温压力传感器相比，SOI衬底的漏电流更低，更适合研制高温传感器，但存在敏感压阻层与衬底之间的键合方式、热应力和高温漏电流增大等限制‌。